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    • 在线监测面阻测量仪

    • 简介:Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。
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    简介


    Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。

     

     

     

    规格参数


    测量模式:非接触式实时测量

    衬底:foils, glass, wafer等

    检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

    传感器数目:1 – 99

    面阻范围: 0.0001~1000 Ohm/sq

    薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

    工作环境:真空 /  非真空  

    工作温度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

    采样率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

    配套设备(选配):硬件触发 / 条形码阅读器

    选配功能:导电膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向异性

     

     

    功能图解


     

     

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    Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。

    测量模式:非接触式实时测量

    衬底:foils, glass, wafer等

    检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

    传感器数目:1 – 99

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